主な実験装置
占有の実験装置
- ファンクションジェネレータ(~200 MHz)
- 高速バランスディテクタ(~650 MHz)
- 高速・低雑音プリアンプ(40 dB、1 kHz-500 MHz)
- 多チャンネル計測用信号切替器
- 小型氷点下チラー
- ハイパスフィルタ
- パワーメータ
- 分光器
- 磁石ステージ
- ガウスメータ
- 半導体温度計
- 超音波洗浄機
専攻・大学共有の実験装置
- 超高精細電子ビームリソグラフィー装置125k(エリオニクス:ELS-100)
- SEM付集束イオンビーム装置(ZEISS:Nvision 40D with NPVE)
- 走査型プローブ顕微鏡(日立ハイテクサイエンス:AFM5000/AFM5300E)
- LED描画装置(ピーエムティー:PLS-1010)
- 自動制御型パルスレーザー蒸着ナノマテリアル合成装置(パスカル:MC-LMBE)
- 透過電子顕微鏡(日本電子:JEM2100plus、JEM-ARM200F)
- エリプソメータ(J.A. Woollam Japan:M-2000U)
- サーフェイスプロファイラ(KLA Tencor:p-16+)
- ワイヤーボンダ(ハイソル:MODEL 7476D)
- 機械工作機器(ワイヤ放電加工機、レーザ加工機、旋盤、フライス盤、ボール盤)
- レーザーラマン顕微鏡(ナノフォトン:RAMAN-touch VIS-NIR-OUN)
- 無機・有機ドラフトチャンバ